Этот сайт использует файлы cookie и обрабатывает персональные данные пользователей. Продолжая просматривать сайт, вы тем самым соглашаетесь с политикой конфиденциальности сайта и подтверждаете свое согласие на обработку и хранение персональных данных. Узнать больше Закрыть
 8 (800) 555-21-74

Измерительное оборудование

Автоматическая цифровая многоканальная система поддержания давления в вакуумной камере

Автоматическая система состоит из цифрового ионизационно-термопарного вакуумметра непрерывного диапазона измерения давления и с автоматической дегазацией датчиков и цифрового натекателя газа, содержащего 2 и более встроенных высокоточных регулятора расхода газа, оснащенных теплометрическими измерителями расхода газа.

  • Cистема поддержания давления в вакуумной камере (схема подключения)
  • Cистема поддержания давления в вакуумной камере

Технические характеристики

Буквами на схеме показано:
А — электронный блок вакуумметра
B — провод питания 220В
С — термопарная лампа
D — ионизационная лампа
E — электронный блок натекателя
G — сигнальные кабеля
H — кабель обмена данными с IBM
J — IBM
L — кабель обмена данными между блоками
M — кабель для подключения дополнительных устройств в сеть
N,O — вход рабочих газов
P,R — выход рабочих газов.

Управление системой поддержания давления осуществляется и с клавиатуры, и дистанционно с персонального компьютера через сетевой интерфейс RS-485.

Система автоматически управляет расходом рабочих инертных и реактивных газов, к примеру, ионно-лучевых и магнетронных техпроцессов нанесения металлов, их оксидов, нитридов, карбонитридов, карбидов и прочих одним или несколькими распылителями в условиях воспроизводимости или постоянства мощности разрядов. Непрерывный диапазон давления — 100-10-5 Па, он подразумевает, что система может работать в нем без переключения пределов измерения.

Величина давления в вакуумной камере преобразуется датчиками вакуумметра в электрические сигналы. Они отправляются в усилители нормализации, а затем в контроллер, который в свою очередь отправляет обработанное должным образом значение давления на натекатель рабочих газов. Расход газов при этом поддерживается на таком уровне, чтобы при нанесении покрытий сохранялось значение давления в вакуумной камере и состав потока (соотношения газов), из которого непосредственно и формируется покрытие.

Одновременно на экран выводятся значения с ионизационного и термопарного датчиков.

Измеренное и заданное значения давления, расходы газов по каждому каналу, и заданная и измеренная пропорции потока газа отображаются на дисплее натекателя.